隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,材料研究變得越來越重要。材料的性質(zhì)和組成對于各種應(yīng)用具有至關(guān)重要的作用。為了獲得更好的材料,一些高級設(shè)備被發(fā)明出來,其中真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀是一種非常有效的工具。
真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀是一種通過真空技術(shù),將一個固體物質(zhì)轉(zhuǎn)化為氣體,并將這種氣體沉積在另一個物體上的方法。在真空室中,被蒸發(fā)物質(zhì)被加熱至其沸點,生成的蒸汽旋轉(zhuǎn)并沉積在樣品表面上,這樣形成的薄膜非常均勻。這種方法的優(yōu)點是其具有非常高的控制性、均勻性和可重復(fù)性。
真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)中,用于制備各種具有重要性質(zhì)的材料,例如:光學(xué)元件、新型半導(dǎo)體、化學(xué)氣敏元器件、涂層和薄膜。其中,它在制備薄膜方面非常有用。薄膜可以在電學(xué)、光學(xué)、磁學(xué)和機械方面具有重要應(yīng)用。通過控制真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀中加熱源的溫度、蒸發(fā)源的形狀、化學(xué)反應(yīng)等因素,可以制備出各種薄膜。
在半導(dǎo)體制造過程中,真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀也被廣泛應(yīng)用。在半導(dǎo)體晶體管制造過程中,需要制備各種接觸電*。因此,通過真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀制備電*材料非常有價值。在制備電*時,可以通過控制各種參數(shù),例如旋轉(zhuǎn)速度、蒸發(fā)溫度等,來控制材料厚度和結(jié)晶度,從而使電*附著在半導(dǎo)體表面的適當(dāng)位置。